非球面生産能力
非球面生産能力
| 加工項目 | 加工範囲 | 公差レベル | ||
|---|---|---|---|---|
| 一般精度 | 高精度 | 超高精度 | ||
| 外径 | 10 mm - 300 mm | >= ±0.10 mm | ±0.05 mm | ±0.01 mm |
| 中心厚度 | >= 1 mm | >= ±0.10 mm | ±0.05 mm | ±0.02 mm |
| エッジ厚み差 (TIR) | > 0.002 mm | 0.100 mm | 0.050 mm | 0.010 mm |
| 非球面度 (φ50mm の例) | up to 5 mm | < 1 mm | 1 mm | > 2 mm |
| 面型精度 (PV @633nm) | λ/10 | > 1.5λ | ～λ | < λ |
| 面型精度 (RMS @633nm) | λ/80 | >λ/4 | ～λ/6 | <λ/8 |
| 表面平滑度 (傾斜) | 3 | N/A | 25 | 10 |
| 表面粗さ | <0.5 nm | > 2 nm | 2 nm | 0.5 nm |
| 外観等級 | 0-0 | 60--40 | 40-20 | 20-10 and 10-5 |