非球面生产能力
非球面生产能力
| 加工项目 | 加工范围 | 公差等级 | ||
|---|---|---|---|---|
| 一般精度 | 高精度 | 超高精度 | ||
| 外径 | 10 mm - 300 mm | >= ±0.10 mm | ±0.05 mm | ±0.01 mm |
| 中心厚度 | >= 1 mm | >= ±0.10 mm | ±0.05 mm | ±0.02 mm |
| 边缘厚度差（TIR） | > 0.002 mm | 0.100 mm | 0.050 mm | 0.010 mm |
| 非球面度（以φ50 mm为例） | 最大5 mm | < 1 mm | 1 mm | > 2 mm |
| 面形精度（PV @633 nm） | λ/10 | > 1.5λ | ～λ | < λ |
| 面形精度（RMS @633 nm） | λ/80 | >λ/4 | ～λ/6 | <λ/8 |
| 表面平滑度（斜率） | 3 | N/A | 25 | 10 |
| 表面粗糙度 | <0.5 nm | > 2 nm | 2 nm | 0.5 nm |
| 外观等级 | 0-0 | 60--40 | 40-20 | 20-10和10-5 |